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[반도체실무과정] 8대공정 PHOTO

NCS
교육 과정 사진
NCS 분류:
  
반도체개발(19030601)
  

강의 더보기

강좌구성:
  
11시간 (10강)
수료증:
  
NCS 수료증
수료기준:
  
진도율 80%이상, 시험 2회

신청유형

32,670

수강후기 (1)
과정정보
커리큘럼

수강후기

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기본순
  • 수료
    일반
    c*******42023-09-25
    포토 공정에서의 전문성을 키울 수 있었던 강의였습니다. 

    과정소개

    - 기초부터 최대한 쉽게, 사례를 들어가며 Photo에 대한 이해도를 높이고자 노력했습니다.

    - 면접질문에서 자주 나오는 주요인자(해상도, DOF, NA 등)에 대한 정의, 발전방향, 상호 연관관계를 설명합니다.


    *해당 과정은 인정신청 유효기간 만료로 2024.12.01.(일) 개강반부터 NCS 수료증 발급이 되지 않사오니, 양해 부탁드립니다.
    *12월까지 운영 후 폐강될 예정이오니, 수강에 참고 부탁드립니다.

    학습대상

    - 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자

    학습목표

    - 반도체 8대공정 중 Photolithography 공정의 절차 및 의의에 대해 이해하고 실제 업무에 적용할 수 있다.

    - Photo 공정 8대 절차 및 Track 구성, 표면 처리, PR spin coating에 대해 이해하고 설명할 수 있다.

    - Soft bake 및 Alignment, exposure, Resolution, DOF, NA, 광원과 파장에 대해 이해하고 반도체 제조 시 정확성을 높일 수 있다.

    - Photo 불량 사례를 이해하고 이를 통해 반도체 제조 시 불량율을 낮출 수 있다.​ 

    교수소개

    엄 중 섭

     

    [경력]

    - 현)한국반도체기술교육원​

    - 삼성전자주식회사/SOC PIE그룹(E6 수석)​

학습내용

차시내용
1차시Photo 공정의 개요
2차시Track 구성/표면 처리/PR Spin Coating
3차시Soft bake/Alignment/Exposure
4차시PEB/Development/Hard bake/ADI 검사
5차시Resolution과 DOF/NA/광원과 파장
6차시Resolution 향상 방안 및 EUV/DPT/Q PT
7차시PSM/OPC
8차시Photo 현장 실무
9차시Photo 불량 사례 (1)
10차시Photo 불량 사례 (2)

수료기준

수료기준
총 진도율중간평가최종평가과제
80% 이상평가비율 20% 반영평가비율 80% 반영-
반영된 평가 합산 60 이상