포토 공정에서의 전문성을 키울 수 있었던 강의였습니다.
- 기초부터 최대한 쉽게, 사례를 들어가며 Photo에 대한 이해도를 높이고자 노력했습니다.
- 면접질문에서 자주 나오는 주요인자(해상도, DOF, NA 등)에 대한 정의, 발전방향, 상호 연관관계를 설명합니다.
*해당 과정은 인정신청 유효기간 만료로 2024.12.01.(일) 개강반부터 NCS 수료증 발급이 되지 않사오니, 양해 부탁드립니다.
*12월까지 운영 후 폐강될 예정이오니, 수강에 참고 부탁드립니다.
- 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자
- 반도체 8대공정 중 Photolithography 공정의 절차 및 의의에 대해 이해하고 실제 업무에 적용할 수 있다.
- Photo 공정 8대 절차 및 Track 구성, 표면 처리, PR spin coating에 대해 이해하고 설명할 수 있다.
- Soft bake 및 Alignment, exposure, Resolution, DOF, NA, 광원과 파장에 대해 이해하고 반도체 제조 시 정확성을 높일 수 있다.
- Photo 불량 사례를 이해하고 이를 통해 반도체 제조 시 불량율을 낮출 수 있다.
엄 중 섭
[경력]
- 현)한국반도체기술교육원
- 삼성전자주식회사/SOC PIE그룹(E6 수석)
차시 | 내용 |
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1차시 | Photo 공정의 개요 |
2차시 | Track 구성/표면 처리/PR Spin Coating |
3차시 | Soft bake/Alignment/Exposure |
4차시 | PEB/Development/Hard bake/ADI 검사 |
5차시 | Resolution과 DOF/NA/광원과 파장 |
6차시 | Resolution 향상 방안 및 EUV/DPT/Q PT |
7차시 | PSM/OPC |
8차시 | Photo 현장 실무 |
9차시 | Photo 불량 사례 (1) |
10차시 | Photo 불량 사례 (2) |
수료기준 | ||||
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총 진도율 | 중간평가 | 최종평가 | 과제 | |
80% 이상 | 평가비율 20% 반영 | 평가비율 80% 반영 | - | |
반영된 평가 합산 60점 이상 |