[반도체실무과정] 8대공정 CVD
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과정정보
커리큘럼
수강후기
기본순
- 수료일반d*******72023-09-23
cvd에 대해서 자세히 알게되어 좋은 강의었습니다. 깊이있게 배울 수 있었어요.
과정소개
- CVD의 정의 및 원리, CVD 막의 형성 방법, 막의 형성 매카니즘에 대항여 설명합니다.
- CVD 공정의 특징과 증착되는 막질 종류에 대해 설명합니다.
- ALD 반응증착이 기존 CVD 방식과 다른 점을 설명합니다.
학습대상
- 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자
학습목표
- CVD 공정의 학습 과정을 설명할 수 있다.
- CVD 공정의 정의와 원리를 설명할 수 있다.
- CVD 방식의 종류와 장단점을 설명할 수 있다.
- CVD 막의 종류를 설명할 수 있다.
교수소개
엄 중 섭
[경력]
- 현)한국반도체기술교육원
- 삼성전자주식회사/SOC PIE그룹(E6 수석)학습내용
| 차시 | 내용 |
|---|---|
| 1차시 | CVD 과정 소개 |
| 2차시 | CVD의 용어 |
| 3차시 | CVD의 정의 및 원리 |
| 4차시 | CVD 방식의 종류와 장단점 (1) |
| 5차시 | CVD 방식의 종류와 장단점 (2) |
| 6차시 | CVD 막의 종류 |
| 7차시 | MOCVD |
| 8차시 | CVD 불량 사례와 CVD 엔지니어의 직무 |
수료기준
| 수료기준 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 총 진도율 | 중간평가 | 최종평가 | 과제 | |
| 80% 이상 | 평가비율 10% 반영 | 평가비율 90% 반영 | - | |
| 반영된 평가 합산 60점 이상 | ||||