오늘 강의에서는 반도체 장비 엔지니어(설비기술)의 주요 업무와 역할에 대해 학습했다. 장비 엔지니어는 각 공정 장비의 유지보수와 이상 데이터 분석을 기반으로 장비의 안정적인 운영을 담당하며, 트러블 슈팅을 통해 생산 차질을 최소화하는 역할을 수행한다. 단순한 장비 관리가 아니라 데이터 기반으로 장비 상태를 진단하고 문제를 해결하는 것이 핵심이라는 점이 인상적이었다.
장비 셋업 과정은 장비 반입 전 준비(Tier 0), 하드웨어 세팅(Tier 1), 공정 셋업(Tier 2)으로 구분되며, 각 단계에서 전산 등록, 설비 인프라 구축, 장비 세팅 및 공정 최적화가 이루어진다. 특히 공정 기술팀과 협업하여 기존 장비와 신규 장비의 조건을 맞추는 과정이 중요하다는 점을 이해할 수 있었다.
양산 단계에서는 장비 PM/BM 이후 테스트 웨이퍼(NPW)를 활용한 검증 과정을 거쳐 장비를 재가동하며, 가동 중에는 FDC 시스템을 통해 이상 데이터를 실시간으로 감지하고 인터락(I/L) 발생 시 즉각적인 트러블 슈팅이 이루어진다. 또한 장비 레시피 및 스펙을 관리하고, 장비 가동률을 높이기 위해 down 및 idle 상태를 최소화하는 것이 중요한 업무임을 알 수 있었다.
이 외에도 장비 개조 및 업그레이드, 국산화 평가, 협력사 관리, 안전 관리 등 다양한 업무가 포함되며, 장비의 생애주기 관리 측면에서 주요 부품의 고장 패턴을 분석하고 PM 주기 및 재고를 관리하는 것이 중요하다는 점도 학습했다.
이번 강의를 통해 장비 엔지니어는 단순 유지보수를 넘어 데이터 분석, 공정 이해, 협업 능력이 모두 요구되는 직무임을 이해할 수 있었으며, 생산성과 직결되는 핵심 역할이라는 점을 인식하게 되었다.
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