반도체/바이오/이차전지 등 초청청 환경을 필요로 하는 클린룸이다
온도/습도/압력 등이 필요에 맞게 일정하게 제어되는 공간이며
클린룸 환경을 유지하기 위해 공기 정화 및 압력 제어 시스템이 중요하다.
반도체 펩은 3개의 층으로 구성이 되며
3층은 매인 펩 1,2층은 서브 펩이다. 서브 펩은 메인 펩의 장비 가동을 돕는 층이라 할 수 있다.
펩 내부에는 스막룸,HFFU, FFU,댐퍼,에어샤워로 구성이 되어있는데
스막룸은 방진복을 입는 장소, HFFU,FFU는 고 청청도 클린룸에 사용된다.
댐퍼는 실외 오염공기가 클린룸 오염시키는 것을 막는 장비
에어샤워는 펩에 들어가기전 먼지 등을 전부 제거하는 시스템이다
실제로 반도체 공정교육 실습을 해봤던 적이 있는데 방진복을 입고 에어샤워를 하고 펩에 들어갔었는데
계속 실습 강사분께서 먼지 등을 꼼꼼히 제거해야 한다고 강조했었고 실제로도 굉장히 오랫동안 제거 했던 기억이 있다. 실습 교육을 해본 덕분인지 펩의 구조를 더 잘 이해할 수 있어서 좋았다
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