반도체 클린룸의 개념과 ISO에 따른 청정도 기준에 대해 공부하였습니다. 클린룸은 극도로 낮은 먼지와 오염물질을 제어하는 청정실로 나노단위의 반도체 공정에서 제품의 품질을 유지하기 위해 필수로 요구되는 조건입니다.클린룸 같은 경우 이러한 환경을 유지하기 위해 공기 정화 및 압력 제어 시스템이 중요합니다. 이러한 헤파 피터나 양압 유지하는 장비를 관리하는 일 또한 장비엔지니어로서의 역할을 알 수 있었습니다.
반도페 팹의 구조는 보통 3층으로 되어있습니다. main fab인 3층에 대해선 배운적이 있었지만 1,2 층같은 sub fab에 대해 알 수 있어서 유용하였습니다.2층 같은 경우는 전원을 아정적으로 공급해주는 제너레이터, 열 제어 장치, 각종 배관들. 3층은 PR ROOM, PUMP, SCRubber같은 설비가 있어 클린룸이 필요하지 않는 공간임을 알았습니다.
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