반도체 팹의 구조
반도체 팹은 3개의 층으로 구성됨. (3층 = MAIN FAB / 1,2층 = SUB FAB (3층의 장비 가동을 SUPPORT 하는 층)
2층 (Utlity층)은 주로 전력을 공급하는 시스템이 위치함. Main장비에 전력을 공급하는 Power Rack 이나 전력을 변환해주는 Transfer Module 등이 위치함.
1층은 주로 진공 시스템의 핵심적인 역할을 하는 PUMP단이 위치함. 드라이 펌프 OR 펌프 배관이 주로 위치함. 반도체 팹 내부의 유해 물질을 필터링해주는 Scrubber System이 펌프에 연결되어 있음.
반도체 팹이 어떻게 구성되는지는 한번도 못 들어봤고 들어봤더라도 용어들이 어려워서 이해하기 어려웠는데 강의에서는 강의자료에는 어려운 용어들이 있어도 이해하기 쉽게 말씀해주셔서 감사했습니다. 또한 클린룸에 대해서는 자세히 알고 있다고 생각했는데 클린룸의 청정도 기준에 대해서는 새롭게 알아가는 것 같습니다.
#반도체 #장비엔지니어 #FAB #윈스펙 #이공계
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