1.반도체 팹은 3개의 층이 하나의 팹으로 구성되어있다.
2. 3층에 Main Fab, 1,2층에 Sub Fab으로써 3층의 장비 가동을 도와준다.
3. Sub Fab의 주요 역할은 가스 누출이나 불순물 유입을 방지하는 제어 역할과 화학물질의 회수, 공정 중 발생하는 부산물을 배출, 그리고 전력 인프라를 관리한다.
4.반도체 Fab은 매우 다양한 시스템과 장비들이 맞물려서 서로 영향을 주는 시스템으로 구성하고 각각 설비들이 어떤 상태이고 어떤 영향을 주고 받는 것을 아는것이 중요하다.
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