2일 차 강의 내용 및 느낀점
오늘 스터디를 통해서 반도체 클린룸과 FAB, FAB구조와 역할 등에 대해서 학습하는 시간이었습니다.
반도체 클린룸은 주로 양압을 유지해서 외부 오염물 유입을 차단하고 포토리소그래프 공정처럼 미세공정이 필요할 수록 청정도가 더 높게 유지해야한다는 사실을 알게되었습니다.
그리고 반도체 FAB 구조는 3층 구조로 3층은 MAIN, 1.2층은 SUB로 구성되어있고 SUB에는 CSF와 FSF 구조를 이해했습니다.
이번 시간을 통해서 FAB이 3층 구조로 다양한 역할과 설비가 있다는 것을 파악하였고, 각 구조와 역할 별 시스템의 중요성에 대해서 알게 되었습니다.
#클린룸 #반도체 #장비엔지니어 #FAB #윈스펙 #이공계
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