클린룸은 반도체 산업에서 초순수 환경의 FAB을 의미한다. 극도로 낮은 파티클과 오염 물질을 제어하는 청정실로, 나노 단위의 반도체 공정에서 제품의 품질을 유지하기 위해 필수로 요구되는 환경이다. 반도체 FAB은 3개의 층으로 구성되어 있는데 1,2층은 SUB FAB, 3층은 MAIN FAB이다. 1층은 주로 진공 시스템의 핵심적인 역할을 하는 PUMP단이 위치하고 있다. 2층은 Utility층으로 주로 전력을 공급하는 시스템이 위치하고 있다. 클린룸의 정의만 알고 있었지만 이번 강의를 통해 클린룸의 구조에 대해 더 자세하게 알 수 있어서 좋았다.
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