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반도체 클린룸 클래스란?
* 클린룸이란?
- 클린룸: 극도로 낮은 파티클(먼지)와 오염 물질을 제어하는 청정실로, 나노 단위의 반도체 공정에서 제품의 품질을 유지하기 위해 필수로 요구되는 환경.
- 공기 부유 입자의 농도를 일정한 수치 이하로 제어, 입자의 유입, 생성 및 체류를 최소화한 공간이며 온도, 습도, 압력 등이 필요에 맞게 일정하게 제어되는 공간
- 청정도 관리, 환경 제어, 공기 흐름 등을 관리
# 클래스란?
- 청정도 클래스: 단위 공간(1cm3) 내의 CFU(colony forming unit) 입자 농도에 의해 결정되며, 그러한 입자오의 청정도의 관계는 class라는 단위로 표현됨
- ex) class 1000: 0.1마이크로미터 크기를 가진 부유 입자가 1m3의 단위 공간 안에 1000개 이하로 존재하는 청정도의 등급을 의미
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